[01343551]一种检测非球面透镜透射波面的系统

一种用于非球面透镜透射波面检测的非干涉装置,其构成包括：一个空间光调制器或正弦条纹发生装置、一个聚光镜、一个分光镜、4个孔径光阑、2个投射显微物镜（用于条纹投射）、2个成像显微物镜（用于被被测物调制后的条纹成像）、待测非球面透镜和参考球面透镜（或平面相位物体）、2个筒镜和2个CCD以及一台计算机。在该装置中,光路a和光路b在光学平板两侧对称放置,2个CCD与计算机连接,可同步成像。通过调节空间光调制器产生不同周期的条纹图,并采用空间相移法或多频时间序列法进行相位解包裹处理,得到被测非球面透射波面的相位,进而获得被测非球面透镜的透射波面的斜率信息,对波面斜率进行积分可恢复透射波面。本实验装置将相移法与条纹投射法相结合,在可不采用激光干涉的条件下利用条纹图直接对非球面透镜进行透射波检测,该装置可快速实现包括非球面镜片在内的透射物体相位及波面检测,具有较强的实际应用价值。在实际应用中,利用激光器发射的激光,照射到被测非球面透镜表面并通过其中心,形成畸变后的波面,并采用积分方法获得其斜率,通过对斜率进行积分,获得最终变形的波面信息,该方法可以同时获得表面缺陷和透射波面信息,并能实现同步测量,比同类的非球面测量用效率高,速度快,同时实现无损测量。