[00135630]大面积并联高密度感应耦合等离子体源
交易价格：
面议
所属行业：
其他机械
类型：
实用新型专利
技术成熟度：
可规模生产
专利所属地：中国
专利号：zl200620069635.8
交易方式：
技术转让
技术转让
联系人：
苏州大学
进入空间
所在地：江苏苏州市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本专利公开了一种大面积并联高密度感应耦合等离子体源，包括射频电源、匹配网络、外置天线和真空腔体等。采用了创新的感应天线的绕制方法，提高了射频功率的耦合效率，增强了等离子体密度，改善了其放电均匀性，设计与制作简单，成本低廉。
技术指标：
在700W射频功率的条件下，Ar等离子体密度超过1011cm-3，表面处理的均匀性好于85％。
应用领域：
各种样品表面的快速等离子体真空处理、薄膜生长等。
本专利公开了一种大面积并联高密度感应耦合等离子体源，包括射频电源、匹配网络、外置天线和真空腔体等。采用了创新的感应天线的绕制方法，提高了射频功率的耦合效率，增强了等离子体密度，改善了其放电均匀性，设计与制作简单，成本低廉。
技术指标：
在700W射频功率的条件下，Ar等离子体密度超过1011cm-3，表面处理的均匀性好于85％。
应用领域：
各种样品表面的快速等离子体真空处理、薄膜生长等。
