真空镀膜设备技术投资分析:
本发明包括电源、阴极、阳极,真空室,靶材架、样品架、连轴器、马达、调速器以及真空法兰,样品架放置在靠近阳极的一侧,靶材架放置在靠近阴极的一侧,通过马达连轴器与样品架相连接,而且马达通过真空法兰与导线和外部的调速器或其他器件相连接。
利用本发明装置可以同时对物体的几个面进行同时镀膜,而且很容易做到难对物体的表面进行360o均匀镀膜。
真空镀膜设备技术的应用领域前景分析:
本发明涉及一种可在真空中使用,配合磁控溅射、加热蒸发等物理气相沉积方法的自旋可控的真空镀膜装置,属于材料技术与器件技术领域。
真空镀膜设备效益分析:
本技术市场应用范围广,利润丰厚,效益十分可观。
真空镀膜设备厂房条件建议:
无
备注:
无