技术详细介绍
一种基于表面等离子激元的薄膜型光准直器（专利号201310141709.9）是由衬底和金属光栅构成，所述衬底是一承载金属光栅的玻璃衬底；所述金属光栅是由在衬底上通过真空热镀膜技术或磁控溅射技术交替制作金属薄膜与介质薄膜获得的金属介质交替膜与在金属介质交替膜上通过双光束干涉曝光技术及剥离技术制作的金属表面光栅结构构成。本结构首次利用金属介质交替膜将高斯光变为平面光，同时具有扩展光束宽度的能力；结构紧凑，体积小，器件总厚度为波长量级；基于制备工艺简单且成本较低的金属介质交替膜支撑金属表面光栅并导通光，避免了制作成本较高的带通孔金属膜；可集成制作于半导体激光器、发光二极管、光纤或光纤激光器的端面，用于改善光束的发散角，获得准直光。