技术详细介绍
本专利技术介绍了一种氮氧钛铝/氮化钛铝/钛铝复合膜的制备方法。
氮氧钛铝/氮化钛铝/钛铝复合膜制备方法依次包括：1、沉积技术及靶材成分的确定；2、基体工件的选择与前处理；3、基体工件悬挂方位的确定；4、真空加热处理；5、预轰击工艺的确定；6、沉积工艺的确定。氮氧钛铝/氮化钛铝/钛铝复合膜制备方法提高了膜层与基体之间的附着力，同时提高了膜层硬度，并具有良好的稳定性和可重复性。
氮氧钛铝/氮化钛铝/钛铝复合膜制备方法依次包括：1、沉积技术及靶材成分的确定；2、基体工件的选择与前处理；3、基体工件悬挂方位的确定；4、真空加热处理；5、预轰击工艺的确定；6、沉积工艺的确定。氮氧钛铝/氮化钛铝/钛铝复合膜制备方法提高了膜层与基体之间的附着力，同时提高了膜层硬度，并具有良好的稳定性和可重复性。