[00251508]一种具有(100)取向的掺钆锆钛酸铅薄膜及其制备方法
交易价格:
面议
所属行业:
其他新材料技术
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201611000288.8
交易方式:
技术转让
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联系人:
科小易
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所在地:福建厦门市
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-
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技术详细介绍
本发明提供一种具有(100)取向的掺钆锆钛酸铅薄膜及其制备方法。本发明的具有(100)取向的掺钆锆钛酸铅薄膜的制备方法,包括如下顺序进行的步骤:1)以乙酸铅、硝酸钆、硝酸锆和钛酸四丁酯为原料,乙二醇甲醚为溶剂,乙酰丙酮和甲酰胺为稳定剂,制备化学式为Pb1‑xGdx(ZryTi1‑y)O3的掺钆锆钛酸铅前驱体溶液,其中x为0.01‑0.05,y为0.52‑0.53,乙酰丙酮与甲酰胺的摩尔比为(0.80‑1.50):(2.00‑2.55);2)将所述掺钆锆钛酸铅前驱体溶液沉积在衬底上,热处理,得到具有(100)取向的掺钆锆钛酸铅薄膜,其中热处理包括:先在150‑180℃下快速干燥,然后在350‑450℃下热分解,再在600‑700℃退火处理。本发明的制备方法能够制得(100)晶向取向度高且介电性能优异的掺钆锆钛酸铅薄膜。
本发明提供一种具有(100)取向的掺钆锆钛酸铅薄膜及其制备方法。本发明的具有(100)取向的掺钆锆钛酸铅薄膜的制备方法,包括如下顺序进行的步骤:1)以乙酸铅、硝酸钆、硝酸锆和钛酸四丁酯为原料,乙二醇甲醚为溶剂,乙酰丙酮和甲酰胺为稳定剂,制备化学式为Pb1‑xGdx(ZryTi1‑y)O3的掺钆锆钛酸铅前驱体溶液,其中x为0.01‑0.05,y为0.52‑0.53,乙酰丙酮与甲酰胺的摩尔比为(0.80‑1.50):(2.00‑2.55);2)将所述掺钆锆钛酸铅前驱体溶液沉积在衬底上,热处理,得到具有(100)取向的掺钆锆钛酸铅薄膜,其中热处理包括:先在150‑180℃下快速干燥,然后在350‑450℃下热分解,再在600‑700℃退火处理。本发明的制备方法能够制得(100)晶向取向度高且介电性能优异的掺钆锆钛酸铅薄膜。