[00254286]一种低温下硫化锌纳米材料的等离子体气相沉积制备方法
交易价格：
面议
所属行业：
纳米及超细材料
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201710777164.9
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
科小易
进入空间
所在地：福建厦门市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明公开了一种低温下硫化锌纳米材料的等离子体气相沉积制备方法，将镀有锌薄膜的硅基片或者石英基片与硫粉末同时放置于等离子体管式炉或者方形炉密闭沉积系统中，低温下采用惰性气体进行等离子体放电使气体原子或分子受激发而电离，气体原子或分子电离后具有很强的活性并与锌薄膜和硫粉末经过一系列复杂的物理‑化学反应形成纳米材料的方法，在不同的温度条件、电离功率条件及气体流量下，在镀有锌的硅基片上长出各种形貌的硫化锌纳米材料，其生长温度较低，质量较好，工艺简单，成本低廉且产品性能稳定。
本发明公开了一种低温下硫化锌纳米材料的等离子体气相沉积制备方法，将镀有锌薄膜的硅基片或者石英基片与硫粉末同时放置于等离子体管式炉或者方形炉密闭沉积系统中，低温下采用惰性气体进行等离子体放电使气体原子或分子受激发而电离，气体原子或分子电离后具有很强的活性并与锌薄膜和硫粉末经过一系列复杂的物理‑化学反应形成纳米材料的方法，在不同的温度条件、电离功率条件及气体流量下，在镀有锌的硅基片上长出各种形貌的硫化锌纳米材料，其生长温度较低，质量较好，工艺简单，成本低廉且产品性能稳定。
