[00257785]单晶炉中籽晶与熔融硅液面接触的检测方法
交易价格:
面议
所属行业:
其他新材料技术
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN200610105330.2
交易方式:
技术转让
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技术入股
联系人:
西安理工大学
进入空间
所在地:陕西西安市
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-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
摘要:本发明公开了一种单晶炉中籽晶与熔融硅液面接触的检测方法,通过设计提拉头部位的绝缘,使籽晶、籽晶夹头、钢丝绳、绕丝轮、称重滑轮与整个炉体绝缘,以上述部分作电容一极,炉体的其它部分作电容另一极,构成电容器;检测上述电容值并转换成相应的电压值;当籽晶与液面接触时,电容值会发生突变,相应地对应的检测电压也会发生突变;将输出的电压值与一阈值进行比较,给出开关信号,即可表明籽晶与液面发生接触的状态。本发明的检测方法简单,极大地提高了系统的可靠性和自动化程度。
摘要:本发明公开了一种单晶炉中籽晶与熔融硅液面接触的检测方法,通过设计提拉头部位的绝缘,使籽晶、籽晶夹头、钢丝绳、绕丝轮、称重滑轮与整个炉体绝缘,以上述部分作电容一极,炉体的其它部分作电容另一极,构成电容器;检测上述电容值并转换成相应的电压值;当籽晶与液面接触时,电容值会发生突变,相应地对应的检测电压也会发生突变;将输出的电压值与一阈值进行比较,给出开关信号,即可表明籽晶与液面发生接触的状态。本发明的检测方法简单,极大地提高了系统的可靠性和自动化程度。