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[00257785]单晶炉中籽晶与熔融硅液面接触的检测方法

交易价格: 面议

所属行业: 其他新材料技术

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN200610105330.2

交易方式: 技术转让 技术转让 技术入股

联系人: 西安理工大学

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所在地:陕西西安市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
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技术详细介绍

摘要:本发明公开了一种单晶炉中籽晶与熔融硅液面接触的检测方法,通过设计提拉头部位的绝缘,使籽晶、籽晶夹头、钢丝绳、绕丝轮、称重滑轮与整个炉体绝缘,以上述部分作电容一极,炉体的其它部分作电容另一极,构成电容器;检测上述电容值并转换成相应的电压值;当籽晶与液面接触时,电容值会发生突变,相应地对应的检测电压也会发生突变;将输出的电压值与一阈值进行比较,给出开关信号,即可表明籽晶与液面发生接触的状态。本发明的检测方法简单,极大地提高了系统的可靠性和自动化程度。
摘要:本发明公开了一种单晶炉中籽晶与熔融硅液面接触的检测方法,通过设计提拉头部位的绝缘,使籽晶、籽晶夹头、钢丝绳、绕丝轮、称重滑轮与整个炉体绝缘,以上述部分作电容一极,炉体的其它部分作电容另一极,构成电容器;检测上述电容值并转换成相应的电压值;当籽晶与液面接触时,电容值会发生突变,相应地对应的检测电压也会发生突变;将输出的电压值与一阈值进行比较,给出开关信号,即可表明籽晶与液面发生接触的状态。本发明的检测方法简单,极大地提高了系统的可靠性和自动化程度。

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