技术详细介绍
【主要研究内容】以碳化硅单晶材料为研究对象，实现高效、超光滑加工为目标，提出超声波-电化学机械复合抛光的加工方法，探索碳化硅单晶超声波-电化学机械复合抛光机理，揭示超声波振动及高密度电流耦合作用下材料微观组织结构演化过程，优化抛光加工工艺，确定材料去除函数，初步形成适用于碳化硅单晶高效超光滑加工的工艺及理论方法。
【主要研究内容】以碳化硅单晶材料为研究对象，实现高效、超光滑加工为目标，提出超声波-电化学机械复合抛光的加工方法，探索碳化硅单晶超声波-电化学机械复合抛光机理，揭示超声波振动及高密度电流耦合作用下材料微观组织结构演化过程，优化抛光加工工艺，确定材料去除函数，初步形成适用于碳化硅单晶高效超光滑加工的工艺及理论方法。