[00273732]多方向的压电超声发生器及其制备方法
交易价格：
面议
所属行业：
其他机械
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201710468911.0
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
南京邮电大学
进入空间
所在地：江苏南京市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明公开了一种多方向的压电超声发生器及其制备方法，是一种结构简单，操作容易，方向性可调，且便于集成的超声发生器及其制备方法。该超声发生器以硅为衬底，在衬底上设有三角形桥墩、三个独立的MEMS悬臂梁、压电材料、MEMS悬臂梁下拉电极。本发明既可以对三个MEMS悬臂梁下拉电极同时施加相同大小的电压，也可以通过选择不同组合方式对MEMS悬臂梁下拉电极单独的施加电压，共有七种组合方式来实现压电超声发生器的方向性选择。
本发明公开了一种多方向的压电超声发生器及其制备方法，是一种结构简单，操作容易，方向性可调，且便于集成的超声发生器及其制备方法。该超声发生器以硅为衬底，在衬底上设有三角形桥墩、三个独立的MEMS悬臂梁、压电材料、MEMS悬臂梁下拉电极。本发明既可以对三个MEMS悬臂梁下拉电极同时施加相同大小的电压，也可以通过选择不同组合方式对MEMS悬臂梁下拉电极单独的施加电压，共有七种组合方式来实现压电超声发生器的方向性选择。
