[00276042]同步生长晶圆级AB堆垛双层石墨烯的制备方法及其设备
交易价格：
面议
所属行业：
其他新材料技术
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201610396031.2
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
南京大学
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所在地：江苏南京市
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技术详细介绍
AB堆垛双层石墨烯的制备方法及其设备：采用固态或液态碳氢化合物为碳源，控制挥发量，通过含高氢分压的惰性载气带到铜箔表面，利用常压化学气相沉积法催化生长双层石墨稀。碳氢化合物采用固体碳源：固态烃类化合物或烃类的衍生物；通过对固体碳源加热，控制碳源挥发量；或碳氢化合物采用液体碳源：液态烃类化合物或烃类衍生物；通过通入惰性气体量的大小，控制液体碳源的挥发量。本发明实现了双层石墨稀的同步生长，得到了高质量晶圆级AB堆垛的双层石墨烯，AB堆垛的双层石墨稀覆盖率可达100%，单晶场效应载流子迁移率高达5300
AB堆垛双层石墨烯的制备方法及其设备：采用固态或液态碳氢化合物为碳源，控制挥发量，通过含高氢分压的惰性载气带到铜箔表面，利用常压化学气相沉积法催化生长双层石墨稀。碳氢化合物采用固体碳源：固态烃类化合物或烃类的衍生物；通过对固体碳源加热，控制碳源挥发量；或碳氢化合物采用液体碳源：液态烃类化合物或烃类衍生物；通过通入惰性气体量的大小，控制液体碳源的挥发量。本发明实现了双层石墨稀的同步生长，得到了高质量晶圆级AB堆垛的双层石墨烯，AB堆垛的双层石墨稀覆盖率可达100%，单晶场效应载流子迁移率高达5300
