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[00289409]微型集成式固体电解质环境监测气体传感器

交易价格: 面议

所属行业: 电子元器件

类型: 非专利

技术成熟度: 正在研发

交易方式: 技术转让 技术转让 技术入股

联系人: 西安交通大学

进入空间

所在地:陕西西安市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

一、项目简介 随着工业化进程的加速推进,人类社会各方面的发展对化石燃料的消耗与日俱增,而由此产生的大气环境污染问题也愈发严重,对人类的生存和健康、自然生态环境造成极大的损害。基于固体电解质的气体传感器,结合先进的MEMS和 镀膜技术,对于CO2、SO2等污染性气体浓度的实时监测、防治十分重要。 项目以Li3PO4、Li3PO4-Li2SiO3薄膜固体电解质薄膜作为导电介质,研制CO2 SO2等环境监测气体传感器。通过固体电解质薄膜的CO2、SO2气体传感器的响应 原理分析,设计了集成式环境监测气体传感器,选择了合适的反应电极材料,结 合MEMS薄厚膜工艺,采用热阻蒸发镀膜工艺沉积Li3PO4固体电解质薄膜,丝网 印刷厚膜技术制备反应电极和加热电极,完成了集成式微型CO2、SO2气体传感器 的研制、封装、测试,为工业应用奠定了基础。微型气体传感器可实现CO2和SO2 气体的高精度监测,并具有体积小、功耗低、成本低的特点。 图1封装的气体传感器 图2批量化加工的气体传感器芯片 --84-- 西安交通大学国家技术转移中心 二、技术指标(性能参数) 芯片尺寸 1.6mmx1.8mm 封装方式 TO封装 检测范围 CO2(100~5000ppm),SO2(1~200ppm) 测量误差 ±5% 工作电压 <2.0V(直流) 传感器灵敏度 CO2(60-90mV/dec),SO2(70-95mV/dec) 响应时间 CO2(<20s),SO2(<30s) 工作温度 常温 功耗功耗800mW 预期寿命 >2年 三、市场前景及应用 在诸多大气污染物中,CO2与SO2是引起气候变化和雾霾的主要污染源,其主 要产生于各种金属的冶炼、石油化工产品的加工、工业及民用燃料的燃烧、各类机动车尾气的排放,对环境造成了严重的危害。由于此类污染性气体的危害迫在 眉睫,因而对CO2、SO2气体的实时、快速、有效检测,以及根据检测结果采取相 应防治控制措施非常有必要。由此可见,随着我国对环境保护治理的重视,将对高性能低成本的气体传感器具有紧迫而巨大的需求。 四、技术成熟度 概念验证原理样机□工程样机中试产业化 可小批量生产微型气体传感器;已申请国家专利7项,其中授权4项。 五、合作方式 联合研发技术入股□转让授权(许可)面议
一、项目简介 随着工业化进程的加速推进,人类社会各方面的发展对化石燃料的消耗与日俱增,而由此产生的大气环境污染问题也愈发严重,对人类的生存和健康、自然生态环境造成极大的损害。基于固体电解质的气体传感器,结合先进的MEMS和 镀膜技术,对于CO2、SO2等污染性气体浓度的实时监测、防治十分重要。 项目以Li3PO4、Li3PO4-Li2SiO3薄膜固体电解质薄膜作为导电介质,研制CO2 SO2等环境监测气体传感器。通过固体电解质薄膜的CO2、SO2气体传感器的响应 原理分析,设计了集成式环境监测气体传感器,选择了合适的反应电极材料,结 合MEMS薄厚膜工艺,采用热阻蒸发镀膜工艺沉积Li3PO4固体电解质薄膜,丝网 印刷厚膜技术制备反应电极和加热电极,完成了集成式微型CO2、SO2气体传感器 的研制、封装、测试,为工业应用奠定了基础。微型气体传感器可实现CO2和SO2 气体的高精度监测,并具有体积小、功耗低、成本低的特点。 图1封装的气体传感器 图2批量化加工的气体传感器芯片 --84-- 西安交通大学国家技术转移中心 二、技术指标(性能参数) 芯片尺寸 1.6mmx1.8mm 封装方式 TO封装 检测范围 CO2(100~5000ppm),SO2(1~200ppm) 测量误差 ±5% 工作电压 <2.0V(直流) 传感器灵敏度 CO2(60-90mV/dec),SO2(70-95mV/dec) 响应时间 CO2(<20s),SO2(<30s) 工作温度 常温 功耗功耗800mW 预期寿命 >2年 三、市场前景及应用 在诸多大气污染物中,CO2与SO2是引起气候变化和雾霾的主要污染源,其主 要产生于各种金属的冶炼、石油化工产品的加工、工业及民用燃料的燃烧、各类机动车尾气的排放,对环境造成了严重的危害。由于此类污染性气体的危害迫在 眉睫,因而对CO2、SO2气体的实时、快速、有效检测,以及根据检测结果采取相 应防治控制措施非常有必要。由此可见,随着我国对环境保护治理的重视,将对高性能低成本的气体传感器具有紧迫而巨大的需求。 四、技术成熟度 概念验证原理样机□工程样机中试产业化 可小批量生产微型气体传感器;已申请国家专利7项,其中授权4项。 五、合作方式 联合研发技术入股□转让授权(许可)面议

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