[00291610]一种基于温度可监控的磁悬浮抛光装置
交易价格：
面议
所属行业：
其他机械
类型：
非专利
技术成熟度：
正在研发
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
厦门大学
进入空间
所在地：福建厦门市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
一、项目简介
一种基于温度可监控的磁悬浮抛光装置，涉及一种化学机械抛光设备。设有底座、防水 罩、抛光盘、电热丝、导电环、温控器、计算机、弹力电磁条圈、接收磁条圈、止浮轨、工 件夹具、温度传感器、无线接收模块和抛光液添加装置；防水罩绕设于底座上端周边；抛光 盘固于防水罩上端，底部设有涡状凹槽；电热丝嵌于涡状凹槽内，电热丝与温控器电连接， 温控器与计算机连接，弹力电磁条圈固于底座上表面，接收磁条圈固于抛光盘底面，弹力电 磁条圈与接收磁条圈的磁性相同，止浮轨固于底座上且压住弹力电磁条圈，传感器设于夹具 周边，传感器上设有无线传输模块，无线传输模块与设于计算机上的无线接收模块无线信号 连接，抛光液添加装置设于抛光盘侧边上方。
二、技术成熟度
小试阶段（已完成实验室路线、方法验证）。
三、应用范围
本发明涉及一种化学机械抛光设备，尤其是涉及一种基于温度可监控的磁悬浮抛光装置。
四、投产条件和预期经济效益
主要设备及手段：底座、防水罩、抛光盘、电热丝、导电环、温控器、计算机、弹力电 磁条圈、接收磁条圈、止浮轨、工件夹具、温度传感器、无线接收模块、抛光液添加装置。
效益分析：属于中型实验研究与开发设施，对超精密机械加工产业有很好的支撑作用。
五、合作方式
合作开发、专利（实施）许可。
一、项目简介
一种基于温度可监控的磁悬浮抛光装置，涉及一种化学机械抛光设备。设有底座、防水 罩、抛光盘、电热丝、导电环、温控器、计算机、弹力电磁条圈、接收磁条圈、止浮轨、工 件夹具、温度传感器、无线接收模块和抛光液添加装置；防水罩绕设于底座上端周边；抛光 盘固于防水罩上端，底部设有涡状凹槽；电热丝嵌于涡状凹槽内，电热丝与温控器电连接， 温控器与计算机连接，弹力电磁条圈固于底座上表面，接收磁条圈固于抛光盘底面，弹力电 磁条圈与接收磁条圈的磁性相同，止浮轨固于底座上且压住弹力电磁条圈，传感器设于夹具 周边，传感器上设有无线传输模块，无线传输模块与设于计算机上的无线接收模块无线信号 连接，抛光液添加装置设于抛光盘侧边上方。
二、技术成熟度
小试阶段（已完成实验室路线、方法验证）。
三、应用范围
本发明涉及一种化学机械抛光设备，尤其是涉及一种基于温度可监控的磁悬浮抛光装置。
四、投产条件和预期经济效益
主要设备及手段：底座、防水罩、抛光盘、电热丝、导电环、温控器、计算机、弹力电 磁条圈、接收磁条圈、止浮轨、工件夹具、温度传感器、无线接收模块、抛光液添加装置。
效益分析：属于中型实验研究与开发设施，对超精密机械加工产业有很好的支撑作用。
五、合作方式
合作开发、专利（实施）许可。
