[00295037]一种铜-金刚石复合镀层及其制备方法
交易价格:
面议
所属行业:
高分子材料
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201010232127.8
交易方式:
技术转让
技术转让
技术入股
联系人:
华南理工大学
进入空间
所在地:广东广州市
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- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
摘要:本发明公开了一种铜-金刚石复合镀层及其制备方法。所述复合镀层从下到上由铜镀层、铜-金刚石复合上砂镀层和铜加固层组成。制备方法包括以下步骤:在工件表面先用电镀法沉积铜镀层,然后在铜镀层的表面沉积铜-金刚石复合上砂镀层,最后在铜-金刚石复合上砂镀层的表面沉积铜加固层,即得到铜-金刚石复合镀层。该铜/金刚石复合镀层体积密度含量高,分散均匀,可用作CVD在铜基体上沉积金刚石薄膜的底层,沉积出的CVD金刚石膜具有镶嵌结构界面,提高CVD金刚石膜/铜基界面结合力。
摘要:本发明公开了一种铜-金刚石复合镀层及其制备方法。所述复合镀层从下到上由铜镀层、铜-金刚石复合上砂镀层和铜加固层组成。制备方法包括以下步骤:在工件表面先用电镀法沉积铜镀层,然后在铜镀层的表面沉积铜-金刚石复合上砂镀层,最后在铜-金刚石复合上砂镀层的表面沉积铜加固层,即得到铜-金刚石复合镀层。该铜/金刚石复合镀层体积密度含量高,分散均匀,可用作CVD在铜基体上沉积金刚石薄膜的底层,沉积出的CVD金刚石膜具有镶嵌结构界面,提高CVD金刚石膜/铜基界面结合力。