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[00295037]一种铜-金刚石复合镀层及其制备方法

交易价格: 面议

所属行业: 高分子材料

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201010232127.8

交易方式: 技术转让 技术转让 技术入股

联系人: 华南理工大学

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所在地:广东广州市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
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技术详细介绍

摘要:本发明公开了一种铜-金刚石复合镀层及其制备方法。所述复合镀层从下到上由铜镀层、铜-金刚石复合上砂镀层和铜加固层组成。制备方法包括以下步骤:在工件表面先用电镀法沉积铜镀层,然后在铜镀层的表面沉积铜-金刚石复合上砂镀层,最后在铜-金刚石复合上砂镀层的表面沉积铜加固层,即得到铜-金刚石复合镀层。该铜/金刚石复合镀层体积密度含量高,分散均匀,可用作CVD在铜基体上沉积金刚石薄膜的底层,沉积出的CVD金刚石膜具有镶嵌结构界面,提高CVD金刚石膜/铜基界面结合力。
摘要:本发明公开了一种铜-金刚石复合镀层及其制备方法。所述复合镀层从下到上由铜镀层、铜-金刚石复合上砂镀层和铜加固层组成。制备方法包括以下步骤:在工件表面先用电镀法沉积铜镀层,然后在铜镀层的表面沉积铜-金刚石复合上砂镀层,最后在铜-金刚石复合上砂镀层的表面沉积铜加固层,即得到铜-金刚石复合镀层。该铜/金刚石复合镀层体积密度含量高,分散均匀,可用作CVD在铜基体上沉积金刚石薄膜的底层,沉积出的CVD金刚石膜具有镶嵌结构界面,提高CVD金刚石膜/铜基界面结合力。

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