本项目的产品就是真空领域高端的薄膜生长系统,分子束外延生长系统(MBE)。
集成电路产业需要大量高端薄膜生长设备:
平板显示领域:OLED面板,单价近亿/台,Cannon Tokki
集成电路行业:金属薄膜,单价5000万- 1亿/台, 美国应用材料
太阳能行业
有机照明行业
实验室的分子束外延MBE设备,依赖进口。
每年分子束外延设备的进口台数在几十台,总成交价格在10亿以上。
目前市场上的主要生产厂家,有美国的VEECO、SVTA,法国的Rebel,瑞典的DCA,德国的MBE component,VG,SPECS。这些厂家中,以VEECO,Rebel,为龙头,占据了大约70%以上的市场份额。
上个世纪80年代,MBE作为一种尖端技术,国外就对中国进行了技术封锁,禁运中国。甚至在今天,MBE仍然属于美国对中国出口的管制类产品,每一台都要经过复杂的审批过程。
最近中美的贸易摩擦,导致了再次禁运。由此,我们必须发展中国自主的分子束外延设备。