[00298031]一种铟镓锌氧化物粉体的制备方法
交易价格:
面议
所属行业:
其他新材料技术
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201710311704.4
交易方式:
技术转让
技术转让
技术入股
联系人:
华中科技大学
进入空间
所在地:湖北武汉市
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- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
摘要:本发明公开了一种铟镓锌氧化物粉体的制备方法,其包括如下步骤首先配置镓盐溶液、铟盐溶液和锌盐溶液;然后使用不含碱金属的碱液作为沉淀剂,并采用三步沉淀法分别使所述镓盐溶液、铟盐溶液以及锌盐溶液中的镓离子、铟离子、锌离子在不同pH值下先后沉淀,以制备铟镓锌氧化物前驱体粉体;最后将制备的所述铟镓锌氧化物前驱体粉体经洗涤、过滤、干燥、退火后制成获得高纯单相铟镓锌氧化物粉体InGaZnO4。本发明可制备具有高烧结活性和高纯度的单相InGaZnO4粉体,为制备高质量IGZO靶材提供了优质的原料。
摘要:本发明公开了一种铟镓锌氧化物粉体的制备方法,其包括如下步骤首先配置镓盐溶液、铟盐溶液和锌盐溶液;然后使用不含碱金属的碱液作为沉淀剂,并采用三步沉淀法分别使所述镓盐溶液、铟盐溶液以及锌盐溶液中的镓离子、铟离子、锌离子在不同pH值下先后沉淀,以制备铟镓锌氧化物前驱体粉体;最后将制备的所述铟镓锌氧化物前驱体粉体经洗涤、过滤、干燥、退火后制成获得高纯单相铟镓锌氧化物粉体InGaZnO4。本发明可制备具有高烧结活性和高纯度的单相InGaZnO4粉体,为制备高质量IGZO靶材提供了优质的原料。