技术详细介绍
本发明提供一种铟镓锌氧化物粉体及其陶瓷靶材的制备方法，包括铟、镓、锌和氧，所述铟镓锌氧化物材料由组成式x(In2O3)-y(Ga2O3)-z(ZnO)表示，式中0.5 其特征在于，将铟、镓、锌的原料配制成澄清的水溶液，再加入沉淀剂产生沉淀物，经过洗涤、过滤及干燥后，接着煅烧，制成单分散的纳米级IGZO粉体。 用合成的IGZO粉体作为制备陶瓷靶材的原料，加入粘接剂进行造粒，模压成型或冷等静压强化获得素坯，将素坯放入高温炉进行脱脂处理，脱脂后的素坯在高温进行烧结。 藉由上述步骤，即可获得高密度、低电阻率的IGZO陶瓷靶材，可抑制异常放电和靶材表面节瘤的形成。