[00802464]大尺寸超高密度LTO靶材新技术
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技术详细介绍
该项目采用具有自主知识产权的树脂吸附-水热法制备lTO单分散纳米粉体以及冷等静压-无压烧结制造lT0大尺寸超高密度靶材。制备得到的粉体和靶材的各项性能指标均通过第三者测试单位的技术检验，具有纯度高、组成稳定、电性能优秀的特点。显示器件用ITO薄膜年需求以27％的速度增长，带动溅射用ITO靶材和粉体也以相应的速度快速增长。2004年世界高质量靶材产量200多吨，国内企业0.1吨不到，预计到2007年世界靶材需求为400多吨。该项目的开发成功，将显著提高中国显示器件、导电薄膜、靶材的技术水平，全面提升中国显示器件、导电薄膜、靶材产业在国际市场上的竞争力以及保护国家稀有矿产资源和可持续发展等具有重要的战略意义。