信息来源：中国科学院北京分院 发布日期：2015-12-09
11月16-21日，第十七届中国国际高新技术成果交易会在深圳举行。微电子所微电子仪器设备研发中心的“RIE-100反应离子刻蚀系统”荣获交易会优秀产品奖。
“RIE-100反应离子刻蚀系统”是ME-3A/ME-6A型多功能磁增强反应离子刻蚀机的全新升级机型，设计更为简洁、紧凑，全自动化控制，触摸屏操作，加入了各种互锁及报警功能，具有安全可靠，操作方便等优点。展会上，“RIE-100反应离子刻蚀系统”的实物展示和宣传展板吸引了大批参会者驻足参观，微电子仪器设备研发中心科研人员为来宾详细介绍设备的系统特点、配置、性能指标等，围绕相关技术问题进行了深入交流，获得客户、来宾以及中国国际高新技术成果交易会组委会的一致好评。
中国国际高新技术成果交易会是经国务院批准举办的高新技术成果展示与交易的专业展会，至今已连续举办了十七届，是目前中国规模最大、最具影响力的科技类展会，有“中国科技第一展”之称。
（微电子所供稿）